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成都迈微信光电仪器有限公司
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并联运动设计可在所有空间方向上实现较高刚性 即使负载高达100克，高谐振频率也能实现高动态运动 单个安装平台的创新型产品设计可实现灵活使用 市场上*一**的带ID芯片功能的纳米定位器 市场上行程为100 微米的较小、较轻的NanoCube 应用领域 光纤定位和对准 扫描显微镜 双光子聚合 纳米技术和纳米制造 光子学/集成光学 显微操纵 样本定位 带电容式传感器，实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中。每当控制器启动时，数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据。 适用于复杂真空应用 压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用。操作*润滑剂或润滑脂。无聚合物的压电陶瓷系统可实现较低的排气率。 PICMA压电陶瓷促动器带来**长使用寿命 **的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮，避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环。 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向*维护、无摩擦、无磨损，*润滑。它们的刚性可实现高负载能力，且它们对冲击和振动不敏感。它们*真空兼容，可在很广的温度范围内工作。 并联运动实现高动态多轴操作 在并联多轴系统中，所有促动器作用于同一个运动平台。所有轴具有较小的质量惯性和相同的设计，可实现快速、动态和精密的运动。 规格 P-616.3C 单位 公差 运动和定位 主动轴 X、Y、Z -20至120伏时的开环行程 110/轴 微米 +20 % / -0 % 行程，闭环 100/轴 微米 +20 % / -0 % 分辨率，1秒，开环 0.3 纳米 典型值 分辨率，1秒，闭环 0.4 纳米 典型值 线性误差 0.03 % 典型值 双向重复精度，1秒，10%行程范围内 <10 纳米 典型值 双向重复精度，1秒，**行程范围内 <15 纳米 典型值 传感器 传感器类型 电容式传感器 机械特性 刚度 0.5 牛/微米 ±10 % X / Y / Z向上的空载谐振频率 700 赫兹 ±10 % 带38克负载的谐振频率 X / Y / Z 380 赫兹 ±20 % 带100克负载的谐振频率 X / Y / Z 250 赫兹 ±20 % 推/拉力大小 15 牛 较大 较大允许转矩 0.4 牛米 较大 推荐较大负载 300 克 较大 驱动特性 陶瓷类型 PICMAP-885.50 电容 1.5/轴 微法 ±20 % 其他 工作温度范围 -20 到 80 °C 材料 铝、钢 尺寸 40 × 40 × 40 毫米 移动质量（无负载） 0.021 千克 不含电缆的质量 0.125 千克 包含电缆在内的质量 0.4 千克 电缆长度 1.5 米 ±10 毫米 连接 Sub-D25W3（公头） 推荐电控 E-503、E-663、E-712、E-727 因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦，所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制。 所有规格参数基于室温（22°C±3°C）。 下载数据表